Evatec Market Segment Photonics

光学应用

拥有先进工艺控制(APC)的高精密光学镀膜全套解决方案

 

从汽车到智能移动设备应用,Evatec的蒸发和溅射平台配备了先进工艺控制技术,为精密光学膜层的大规模量产提供了最佳的拥有成本。

无论是生物识别传感还是增强现实,我们的生产平台都能实现滤光片、增透膜、布拉格反射膜和其他高性能薄膜的沉积,包括类金刚石膜层和防污涂层。Evatec的工艺提升了智能设备的传感器、摄像头、触摸屏以及汽车仪表盘性能。3D装饰膜和功能膜的性能也被提升到了新的水平。

 

应用于光学的EVATEC 机型 

Evatec 提供基于蒸镀和溅镀两种技术的批量式,集群式或全自动连续性生产平台。

我们的专家将根据您的工艺要求,产能需求和工厂集成要求帮助您找到合适的机台。 或者单击照片链接以了解有关每个机台的更多信息。

 

BAK系列

蒸镀距离从0.5至2米不等,配有专门的电子枪技术及离子辅助镀膜工艺,可以使材料在不同尺寸、形状、曲率基板灵活快速切换。

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CLUSTERLINE® 200

借鉴半导体工业的8英寸晶圆盒到晶圆盒 (Cassette-to-cassette) 上下片及传输技术和追踪标准,配备批量式溅镀工艺模组提供晶圆级的批量光学镀膜技术。

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SOLARIS®系列

超高产能连续型生产机台,应用于电极,铟锡氧化物半导体透明导电膜 (ITO),减反膜 (AR),抗指纹膜等领域,根据不同的客户应用可采用单片大尺寸或者多片组合夹具。

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先进工艺控制

Evatec生产平台集成了一系列的闭环工艺控制技术,以提高精度和产量。

  • 宽光谱和混合光学监测,在蒸发或溅射沉积过程中实时调整膜系,实时再优化
  • 等离子体辉光光谱监测用于完美的化学计量控制和更高的溅射产量

 

  • 蒸发和溅射过程中的光学测温,加强温度控制和工艺稳定性。
  • 光学工具箱确保了从膜系设计到制程生成,以及镀膜过程执行的整个过程顺利整合。缩短您的工艺开发时间,并提高您的产量。

 

点击这里下载光学监控手册,了解更多关于实时再优化、混合模式监测(宽光谱和单色模式),并阅读其他案例研究,了解如何优化您的光学薄膜生产。

 

晶圆级光学器件

为确保晶圆级光学应用中高产量所必需的工艺重复性和低颗粒度,需要采用全自动的晶元盒到晶元盒式生产技术,消除所有的手动操作。了解更多关于其典型应用的信息,包括生物识别传感和结构化滤光片镀膜,由Evatec在我们的CLUSTERLINE 200 BPM设备上提供支持,见我们的晶圆级光学应用手册。

单击此处填写我们的联系表格,领取宣传册

 

 

 

 

智能眼镜

从汽车到航空电子设备和智能设备消费应用,我们支持一系列增强现实/混合现实(AR/MR)应用中所需要的薄膜沉积。典型所需薄膜层包括光波导、分光器、TCO、DBR和抗反射膜层,可以根据应用、基片尺寸和产量在一系列Evatec平台上进行沉积。Evatec的工艺知识也支持高效传送和在聚合物基材上的保护膜层。

 

 

 

 

精密光学仪器

Evatec的先进工艺控制技术,包括宽光谱光学监测,支持蒸发或溅射工艺在紫外、可见光和红外的广泛应用。在Evatec的BAK平台上进行蒸发,为广泛的2.5和3D基片几何形状提供了灵活的生产解决方案。CLUSTERLINE 200 BPM平台提供晶元盒到晶元盒式的溅射解决方案,并使用定制阴极技术以提高精度和降低颗粒度。高度灵活的MSP完善了Evatec的大规模生产组合从边缘发射式激光器(EELS)到光纤,我们的应用团队拥有70多年的基片处理经验和工艺知识,支持精密光学镀膜应用。

 

 

 

 

功能性薄膜

通过改变颜色或使用日常保护薄膜来增强我们的光学和光电设备,需要以适当的单位成本提供数量和工艺重复性的涂层解决方案。像SOLARIS这样的连续式解决方案可以提供所需的颜色、防污和防刮痕涂层。

Evatec的工艺能力也支持其他应用,包括为医疗应用中的高性能数字式X射线探测器制造的基于CsI / TlI的闪烁体。Evatec的BAK1401大面积镀膜和BAV2000箱式镀膜机台提供的蒸发解决方案采用了定制的源技术,在数字式X射线探测器的闪烁体制造中提供了精确的化学配比和柱状层结构。

 

 

 

 

从汽车到智能移动设备应用,Evatec的蒸发和溅射平台配备了先进工艺控制技术,为精密光学膜层的大规模量产提供了最佳的拥有成本。

无论是生物识别传感还是增强现实,我们的生产平台都能实现滤光片、增透膜、布拉格反射膜和其他高性能薄膜的沉积,包括类金刚石膜层和防污涂层。Evatec的工艺提升了智能设备的传感器、摄像头、触摸屏以及汽车仪表盘性能。3D装饰膜和功能膜的性能也被提升到了新的水平。

 

应用于光学的EVATEC 机型 

Evatec 提供基于蒸镀和溅镀两种技术的批量式,集群式或全自动连续性生产平台。

我们的专家将根据您的工艺要求,产能需求和工厂集成要求帮助您找到合适的机台。 或者单击照片链接以了解有关每个机台的更多信息。

 

先进工艺控制

Evatec生产平台集成了一系列的闭环工艺控制技术,以提高精度和产量。

  • 宽光谱和混合光学监测,在蒸发或溅射沉积过程中实时调整膜系,实时再优化
  • 等离子体辉光光谱监测用于完美的化学计量控制和更高的溅射产量

 

  • 蒸发和溅射过程中的光学测温,加强温度控制和工艺稳定性。
  • 光学工具箱确保了从膜系设计到制程生成,以及镀膜过程执行的整个过程顺利整合。缩短您的工艺开发时间,并提高您的产量。

 

点击这里下载光学监控手册,了解更多关于实时再优化、混合模式监测(宽光谱和单色模式),并阅读其他案例研究,了解如何优化您的光学薄膜生产。

 

晶圆级光学器件

为确保晶圆级光学应用中高产量所必需的工艺重复性和低颗粒度,需要采用全自动的晶元盒到晶元盒式生产技术,消除所有的手动操作。了解更多关于其典型应用的信息,包括生物识别传感和结构化滤光片镀膜,由Evatec在我们的CLUSTERLINE 200 BPM设备上提供支持,见我们的晶圆级光学应用手册。

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智能眼镜

从汽车到航空电子设备和智能设备消费应用,我们支持一系列增强现实/混合现实(AR/MR)应用中所需要的薄膜沉积。典型所需薄膜层包括光波导、分光器、TCO、DBR和抗反射膜层,可以根据应用、基片尺寸和产量在一系列Evatec平台上进行沉积。Evatec的工艺知识也支持高效传送和在聚合物基材上的保护膜层。

 

 

 

 

精密光学仪器

Evatec的先进工艺控制技术,包括宽光谱光学监测,支持蒸发或溅射工艺在紫外、可见光和红外的广泛应用。在Evatec的BAK平台上进行蒸发,为广泛的2.5和3D基片几何形状提供了灵活的生产解决方案。CLUSTERLINE 200 BPM平台提供晶元盒到晶元盒式的溅射解决方案,并使用定制阴极技术以提高精度和降低颗粒度。高度灵活的MSP完善了Evatec的大规模生产组合从边缘发射式激光器(EELS)到光纤,我们的应用团队拥有70多年的基片处理经验和工艺知识,支持精密光学镀膜应用。

 

 

 

 

功能性薄膜

通过改变颜色或使用日常保护薄膜来增强我们的光学和光电设备,需要以适当的单位成本提供数量和工艺重复性的涂层解决方案。像SOLARIS这样的连续式解决方案可以提供所需的颜色、防污和防刮痕涂层。

Evatec的工艺能力也支持其他应用,包括为医疗应用中的高性能数字式X射线探测器制造的基于CsI / TlI的闪烁体。Evatec的BAK1401大面积镀膜和BAV2000箱式镀膜机台提供的蒸发解决方案采用了定制的源技术,在数字式X射线探测器的闪烁体制造中提供了精确的化学配比和柱状层结构。

 

 

 

 

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